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論文

Laser detection of surface acoustic waves as a method of measuring an Ar ion beam modification of carbon thin film

北澤真一; Putra, P.; 境誠司; 鳴海一雅; 楢本洋; 山本春也; 千葉敦也

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 206, p.952 - 955, 2003/05

https://doi.org/10.1016/S0168-583X(03)00868-1

被引用回数：6 パーセンタイル：43.05(Instruments & Instrumentation)

パルス的なエネルギーの衝撃によって発生する弾性波は、衝撃を受けた物質の弾性的な性質を反映する。表面弾性(SAW)は、非破壊的に薄膜の性質を調べるのに有効な手段である。本研究では、パルス・レーザーによって発生したSAWをプローブ・レーザーで検出した。この検出方法で、13keVArイオンによってアモルファスカーボン薄膜が改質される様子を、SAWの伝播速度の変化を観察した。その結果、剛性率の変化により、伝播速度が変化する様子を観測した。